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    XXY精密对位平台

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    GAS00系列


    ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
    ★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
    ★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
    ★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度
    ★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
    ★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

    GAS01系列


    ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模组化结构,实现无中座的薄且轻的机构
    ★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
    ★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
    ★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度
    ★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,品质及效能
    ★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与品质

    GAS02系列


    ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
    ★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
    ★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
    ★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度
    ★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
    ★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

    GAS03系列


    ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
    ★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
    ★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
    ★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度
    ★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
    ★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

    GAU05系列


    ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
    ★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
    ★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
    ★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度
    ★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
    ★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

    GAU10系列


    ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
    ★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
    ★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
    ★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度
    ★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
    ★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量