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Alignment Stage>GAS00 Series

GAS00系列

★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

Alignment Stage>GAS01 Series

GAS01系列

★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模组化结构,实现无中座的薄且轻的机构
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,品质及效能
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与品质

Alignment Stage>GAS02 Series

GAS02系列

★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

Alignment Stage>GAS03 Series

GAS03系列

★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

Alignment Stage>GAU05 Series

GAU05系列

★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

Alignment Stage>GAU10 Series

GAU10系列

★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

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